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自“中興事件”發生以來，國內集成電路產業的現狀和發展前景就成為國人熱議的話題。今年，武漢理工大學信息工程學院依托信息學科優勢，成立了“芯動中國”暑期社會實踐隊，旨在通過走訪相關企業，走近集成電路生產主要環節，采訪行業專家和學者，深入了解芯片產業及其發展中存在的問題，探索校企聯合人才培養新模式，為中國“芯”的發展助力。 7月19日9時30分，“芯動中國”社會實踐隊來到武漢理工大學信息工程學院電子科學與技術超凈實驗室，在電子科學與技術系李成軍副教授的帶領下初步了解芯片的制造工藝和制造過程并親自動手體驗硅片的光刻蝕技術。 在進入超凈實驗室之前，李教授首先為隊員們介紹了集成電路的生產工藝和封裝工藝，讓隊員們了解了“點石成金”的奧秘--廣泛存在于自然界中的硅元素是怎樣一步步被加工成芯片的。
李教授為隊員們介紹集成電路“點石成金”的奧秘 芯片的內部結構非常精細，因此集成電路的生產環節對于環境的要求十分嚴苛，溫度、濕度、氣流、照明等因素都需要嚴格控制，空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等污染物更需要嚴格隔離。超凈間的良好環境能夠營造滿足這些條件，自然就成為芯片生產場所的不二之選。在進入超凈間之前，隊員們已經換上了防塵服，帶上了醫用口罩和橡膠手套。“就這樣全副武裝還不夠呢，”李教授笑著說，“為了與外界環境完全隔離，大家進入實驗室之前還要進行‘風淋’，實驗室從內向外傳遞物品時也要經過專門的窗口。”李教授的話激起了大家的好奇心，隊員們都躍躍欲試。
李教授為隊員們講解實驗操作 實驗開始之前，李教授先給隊員們介紹了實驗室的操作規范和注意事項，然后講解了今天實驗的主要工序--硅片的清洗、涂膠、烘干、光刻、顯影、刻蝕等，每一步在芯片生產過程中都至關重要。接著，李教授給每位隊員分發了一個兩寸圓硅片并指導隊員們在勻膠機上給硅片均勻地滴上光刻膠。在對涂膠后的硅片進行清洗和烘干之后，就進入了光刻環節。光刻技術是集成電路制造中的關鍵，“目前全球集成電路制造中所使用的絕大部分光刻機都是由荷蘭的一家廠商提供的，”李教授介紹到，“它們的工藝水平可以達到七納米，已經接近物理極限，而國內引進機器的精度大都在十幾納米左右。”經過光刻、顯影、清洗之后，原來掩模板上的圖案已經清晰的刻在了硅圓片上。刻蝕是實驗的最后一步，硅圓片經過等離子刻蝕后，雖然質地沒有發生明顯的變化，但是顏色已經由紅色變為了綠色。“現在，一個簡單的芯片就已經制作完成了。”看著大家認真的樣子，李教授欣慰地笑了。看著手中小小的硅圓片，竟然就是生活中隨處可見的芯片的原型，隊員們心中充滿了驚嘆和滿滿的成就感。
實踐隊員們在實驗室外合影
通過在超凈實驗室一上午的參觀學習，實踐隊員們了解了芯片生產的主要環節并親自體驗了“點石成金”的主要過程，對于芯片生產中的困難也有了更深刻的體會。李教授提到，武漢理工大學電子科學與技術專業的學生在本科階段就有進入超凈實驗室實踐的機會，簡單卻有針對性的動手實踐使同學們能將理論知識真正運用到實際的生產過程中，激發專業學習的興趣，為培養芯片行業拔尖人才打下了堅實的基礎。正如李教授所說，助力“中國芯”騰飛，高校教育責無旁貸。
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