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關(guān)閉窗口 在生活中，時(shí)時(shí)刻刻都存在著靜電。但我們尤其關(guān)注潔凈室中的靜電，因?yàn)闈崈羰覂?nèi)使用的很多材料是絕緣非導(dǎo)電的材料，很容易帶上靜電，而且潔凈室內(nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品又大多數(shù)是對(duì)靜電敏感的產(chǎn)品，因此，潔凈室中需對(duì)靜電進(jìn)行防護(hù)。
現(xiàn)在，我們先來(lái)看一下潔凈室的概念。在半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥的生產(chǎn)都需要潔凈的生產(chǎn)車(chē)間。通常潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃度被控制在規(guī)定界限內(nèi)的房間或限定空間，這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小，潔凈度便越高。
潔凈室內(nèi)的靜電
①由于潔凈室的潔凈度要求，潔凈室內(nèi)很多材料摩擦容易起電帶電，不易泄漏釋放。
潔凈室內(nèi)材料的電壓
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材料名稱(chēng) |
電壓范圍 |
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光刻間塑料地面 |
500V~1000V |
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擴(kuò)散間塑料地面 |
500V~1500V |
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瓷磚地面 |
500V~1500V |
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塑料墻紙 |
700V |
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塑料頂棚 |
OV~1000V |
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金屬活動(dòng)皮椅面 |
500V~3000V |
②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時(shí)，與不同物質(zhì)設(shè)備器材摩擦要產(chǎn)生靜電，人、衣服、鞋都會(huì)帶電。
人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動(dòng)，人身上帶7000V~8000V靜電壓。
在乙烯基地板上行走可帶1200V（10%~20%RH）、250V（65%~90%RH）。
在地毯上行走可帶35000V（10%~20%RH）、1500V（65%~90%RH）。
晶片裝配線，人穿的工作服可達(dá)10KV。
③大量的絕緣器材、裝備和工具，也是重要的靜電電荷源。
④空調(diào)氣流經(jīng)過(guò)初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、高效過(guò)濾器、凈化出口氣流是帶靜電的。
總之：潔凈室的潔凈度要求越高，靜電帶電的現(xiàn)象就可能越嚴(yán)重,對(duì)靜電的防護(hù)要求也相應(yīng)地越高。